Il GeminiSEM 500, acquistato con il contributo del fondo "Grandi Progetti di Investimento" dell'Ateneo. è stato installato a luglio 2018.
Il SEM con sorgente a emissione di campo è dotato di numerosi detectors e prevede anche modalità di lavoro in condizione di basso vuoto (Variable Pressure) fino a 500 Pa. E' dotato di Microanalisi EDS, OXFORD EDS Oxford Aztec Live con Detector Ultim Max 100.
Caratteristiche tecniche
- Sorgente a emissione di campo a catodo caldo tipo Schottky
- Tensione di accelerazione da 0.02 a 30 KV
- Risoluzione: 0.6 nm a 15 KV
1 nm a 1 KV (0.8 nm con bias sul campione)
- Colonna Gemini Nano-Twin lens con beam booster e lente obiettivo magnetica-elettrostatica
- Modulo Tandem per applicazione di bias negativi sul campione
- Pressione Variabile da 5 a 500 Pa. Il dispositivo Nano VP riduce l'allargamento del fascio (skirt effect) tipico nelle condizioni di basso vuoto in modo da raggiungere alte risoluzioni anche a basse tensioni di accelerazione (1.3 nm a 3 KV a 30 Pa) e ottimizzare le prestazioni in microanalisi.
- Tavolino portacampioni eucentrico motorizzato a 5 assi
- Sistema di raffreddamento Peltier per tavolino (-30°-50° C)
- Plasma cleaner integrato
- Controllo remoto
Software
- Software SmartSEM con funzione Image Navigation per Microscopia Correlativa
- 3D surface Modeling per la ricostruzione topografica tridimensionale della superficie del campione
Detector
- Detector In-Lens per Elettroni Secondari (SE)
- Detector In-Lens EsB (Energy selective Backscatter) per Elettroni Retrodiffusi (BSE) a alto angolo, selezionati in energia
- Detector In-Chamber SE
- Detector In-Chamber BSE a quattro settori indipendenti e quinto settore aggiuntivo per immagini topografiche e per elevate distanze di lavoro
- Detector VPSE per SE in condizioni di basso vuoto
- Detector BSE solidale con il dispositivo di Nano VP
- Detector aSTEM rivelatore a stato solido a 7 segmenti anulari per BF, DF e HAADF
- Detector per catodoluminescenza
- Misuratore della corrente indotta sul campione
- CCD Camera IR