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Il Microscopio Elettronico a Scansione Zeiss GeminiSEM 500

Zeiss Gemini500 SEM
Schema Zeiss Gemini500 SEM

Il GeminiSEM 500, acquistato con il contributo del fondo "Grandi Progetti di Investimento" dell'Ateneo. è stato installato a luglio 2018.

Il SEM con sorgente a emissione di campo è dotato di numerosi detectors e prevede anche modalità di lavoro in condizione di basso vuoto (Variable Pressure) fino a 500 Pa. E' dotato di Microanalisi EDS, OXFORD EDS Oxford Aztec Live con Detector Ultim Max 100.

Caratteristiche tecniche
  • Sorgente a emissione di campo a catodo caldo tipo Schottky
  • Tensione di accelerazione da 0.02 a 30 KV
  • Risoluzione: 0.6 nm a 15 KV

                      1 nm a 1 KV (0.8 nm con bias sul campione)

                      1.2 nm a 0.5 KV

  • Colonna Gemini Nano-Twin lens  con  beam booster e lente obiettivo magnetica-elettrostatica
  • Modulo Tandem per applicazione di bias negativi sul campione
  • Pressione Variabile da 5 a 500 Pa. Il dispositivo Nano VP  riduce l'allargamento del fascio (skirt effect) tipico nelle condizioni di basso vuoto in modo da raggiungere alte risoluzioni anche a basse tensioni di accelerazione (1.3 nm a 3 KV a 30 Pa) e ottimizzare le prestazioni in microanalisi.
  • Tavolino portacampioni eucentrico motorizzato a 5 assi
  • Sistema di raffreddamento Peltier per tavolino (-30°-50° C)
  • Plasma cleaner integrato
  • Controllo remoto
Software
  • Software SmartSEM con funzione Image Navigation per Microscopia Correlativa
  • 3D surface Modeling per la ricostruzione topografica tridimensionale della superficie del campione
Detector 
  • Detector In-Lens per Elettroni Secondari (SE)
  • Detector In-Lens EsB (Energy selective Backscatter) per Elettroni Retrodiffusi (BSE)  a alto angolo, selezionati in energia
  • Detector In-Chamber SE
  • Detector In-Chamber BSE a quattro settori indipendenti e quinto settore aggiuntivo per immagini topografiche e per elevate distanze di lavoro
  • Detector VPSE per SE in condizioni di basso vuoto
  • Detector BSE solidale con il dispositivo di Nano VP
  • Detector aSTEM rivelatore a stato solido a 7 segmenti anulari per BF, DF e HAADF
  • Detector per catodoluminescenza 
  • Misuratore della corrente indotta sul campione
  • CCD Camera IR 
 
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