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Il Microscopio Elettronico a Scansione Zeiss GeminiSEM 500

Zeiss Gemini500 SEM
Schema Zeiss Gemini500 SEM

Il GeminiSEM 500, acquistato con il contributo del fondo "Grandi Progetti di Investimento" dell'Ateneo. è stato installato a luglio 2018.

Il SEM con sorgente a emissione di campo è dotato di numerosi detectors e prevede anche modalità di lavoro in condizione di basso vuoto (Variable Pressure) fino a 500 Pa. E' dotato di Microanalisi EDS, OXFORD EDS Oxford Aztec Live con Detector Ultim Max 100.

Caratteristiche tecniche

- Sorgente a emissione di campo a catodo caldo tipo Schottky

- Tensione di accelerazione da 0.02 a 30 KV

- Risoluzione: 0.6 nm a 15 KV

                      1 nm a 1 KV (0.8 nm con bias sul campione)

                      1.2 nm a 0.5 KV

- Colonna Gemini Nano-Twin lens  con  beam booster e lente obiettivo magnetica-elettrostatica

- Modulo Tandem per applicazione di bias negativi sul campione

- Pressione Variabile da 5 a 500 Pa. Il dispositivo Nano VP  riduce l'allargamento del fascio (skirt effect) tipico nelle condizioni di basso vuoto in modo da raggiungere alte risoluzioni anche a basse tensioni di accelerazione (1.3 nm a 3 KV a 30 Pa) e ottimizzare le prestazioni in microanalisi.

- Tavolino portacampioni eucentrico motorizzato a 5 assi

- Sistema di raffreddamento Peltier per tavolino (-30°-50° C)

- Plasma cleaner integrato

- Controllo remoto

Software

- Software SmartSEM con funzione Image Navigation per Microscopia Correlativa

- 3D surface Modeling per la ricostruzione topografica tridimensionale della superficie del campione

Detector 

- Detector In-Lens per Elettroni Secondari (SE)

- Detector In-Lens EsB (Energy selective Backscatter) per Elettroni Retrodiffusi (BSE)  a alto angolo, selezionati in energia

- Detector In-Chamber SE

- Detector In-Chamber BSE a quattro settori indipendenti e quinto settore aggiuntivo per immagini topografiche e per elevate distanze di lavoro

- Detector VPSE per SE in condizioni di basso vuoto

- Detector BSE solidale con il dispositivo di Nano VP

- Detector aSTEM rivelatore a stato solido a 7 segmenti anulari per BF, DF e HAADF

- Detector per catodoluminescenza 

- Misuratore della corrente indotta sul campione 

- CCD Camera IR 

 
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